优势特点：半导体设备旋转螺母式TBI滚珠丝杆RFBY1616-3.6为使滚珠受力均匀，提高耐用度和精度保持性，螺母不应受径向力和倾覆力矩，并应尽量使作用在螺母上的轴向合力通过丝杠轴心。
螺帽旋转式TBI滚珠丝杆是在螺帽的外径上装上专用的轴承外套使之运转动作，通过让螺帽旋转或停止的运作，只用一根轴就能够进行2种（旋转、螺旋）模式的运动。旋转式滚珠花键则是在花键外筒的外径上装上专用的轴承外套，使之运转动作。通过让外筒旋转或停止的运作，只用一根轴就能够进行2种（旋转、直线）模式的运动。旋转式滚珠丝杆花键则可通过让螺帽／外筒旋转或停止的运作，只用一根轴就能够进行3种（旋转、螺旋、直线）模式的运动。适用于水平多关节机械手臂（SCARA）、产业用机器人、自动装载机、雷射加工机、搬送装置、机械加工中心的ATC装置等，最适合在旋转运动与直线运动的组合装置上使用。
tbi滚珠丝杆螺母的结构组件：
TBI滚珠丝杠由螺杆、螺母、钢球、预压片、反向器、防尘器组成。它的功能是将旋转运动转化成直线运动，这是艾克姆螺杆的进一步延伸和发展，这项发展的重要意义就是将轴承从滚动动作变成滑动动作。由于具有很小的摩擦阻力，滚珠丝杠被广泛应用于各种工业设备和精密仪器。tbi滚珠丝杠轴承为适应各种用途，提供了标准化种类繁多的产品。广泛应用与机床，滚珠的循环方式有循环导管式、循环器式、端盖式。TBI丝杠按法兰形式分大约有圆法兰、单切边法兰、双切边法兰和无法兰。
半导体设备旋转螺母式TBI滚珠丝杆RFBY1616-3.6为使滚珠受力均匀，提高耐用度和精度保持性，螺母不应受径向力和倾覆力矩，并应尽量使作用在螺母上的轴向合力通过丝杠轴心。
除了TBI滚珠杆螺杆螺帽对螺杆轴线的半径方向圆周偏差(D)和法兰安装面对螺杆轴线的直角度(C)之外・RFBY型的精度以J1S规格(JISB1192-1997)为基准。
| 导程精度 | z转造C7 | 转造C10 | 转造C7 | 转造C5 | 转造C3 | |||||
| 型号 | C | D | C | D | C | D | C | D | C | D |
| RFBY01616 | 0.035 | 0.065 | 0.035 | 0.065 | 0.023 | 0.035 | 0.016 | 0.020 | 0.013 | 0.017 |
| RFBY02020 | 0.035 | 0.065 | 0.035 | 0.065 | 0.023 | 0.035 | 0.016 | 0.020 | 0.013 | 0.017 |
| RFBY02525 | 0.035 | 0.065 | 0.035 | 0.065 | 0.023 | 0.035 | 0.018 | 0.024 | 0.015 | 0.020 |
| RFBY03232 | 0.035 | 0.065 | 0.035 | 0.065 | 0.023 | 0.035 | 0.018 | 0.024 | 0.015 | 0.020 |
| RFBY04040 | 0.046 | 0.086 | 0.046 | 0.086 | 0.026 | 0.046 | 0.021 | 0.033 | 0.018 | 0.026 |
| RFBY05050 | 0.046 | 0.086 | 0.046 | 0.086 | 0.026 | 0.046 | 0.021 | 0.033 | 0.0180 | 0.026 |
注：RFBY与RFE精度规格相同，选择RFBY精度可按上表参考。
TBI滚珠丝杆的安装部位之精度・其必要项目如下
(1)相对于螺纹沟面的轴线A・测定螺杆支持部位的半径方向周偏摆值.
(2)相对于螺杆支持部位的轴线F，测定零件安装部位的同轴度。
(3)相对于螺杆轴支部位的轴线E，测定支持立的端面的直角度。
(4)相对于螺杆轴线G・测定螺闺的基准面或法的安装面的直角度。
(5相对于冢杆轴线A，测定螺帽外缘圆周(圆筒型)的同轴度。
(6)相对于螺杆轴线C・测定螺帽外缘(平头型安装面)的平行度。
(7)螺杆轴线的半径方向的总偏摆值.
(7)螺杆轴线的半径方向的总偏摆值.
在此所述之精度项目是以JISB11911192为基准.
